200x200mm落地型顯影/清洗機 (Floor-standing Developer/Cleaner)

規格簡介：

●外觀尺寸：1140mm(W)x1310mm(D)x2050mm(H)。

●基材：200mm×200mm Glass Substrate。

●手動放片/自動供液。

●供料系統：自動供液手臂1組(可供應顯影液、DIW、N2)

●主軸轉速：10~3,000 rpm (±3rpm)。

●旋轉機構：AC Servo Motor。

●控制系統：MITSUBISHI PLC。

●記憶模組：10組。