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產品詳細說明
自動IC封裝鋁/金線蝕刻工作站 (Auto IC Packaging Al/Au Wire Etching Station)
規格簡介：
●外觀尺寸：1500mm(W)x1700mm(D)x 2100mm(H)。
●樣品吊籃自動傳送手臂，蝕刻時手臂可上下晃動。
●槽體種類：磷酸石英加熱槽、磷酸加熱槽、王水與硝酸加熱槽、QDR槽、熱N2槽、ACE槽。
●酸槽：不鏽鋼鐵氟龍(Teflon Coating)槽體。
●有機槽：不鏽鋼槽體。
●CO2消防防護。
●控制系統：MITSUBISHI PLC 觸控人機介面與製程參數管理 。
濕式工作檯(Wet Bench)實績介紹請參考型錄下載區檔案說明。