落地型500mmx500mm單頭旋轉塗佈機 (Floor-standing 500mmx500mm Single Bowl Spin Coater)

規格簡介：

●外觀尺寸：1300mm(W)×1200mm(D)×1600mm(H)。

●基材：500mm×500mm Glass Substrate。

●手動放片/手動供料

●主軸轉速：10~1500 rpm (±3rpm)。

●驅動：AC Servo Motor

●控制系統：MITSUBISHI PLC。

●記憶模組：10組。