桌上型8-inch旋轉塗佈機(Tabletop 8-inch Spin Coater)

規格簡介：

●外觀尺寸：800mm(W)x600mm(D)x 480mm(H)。

●基材：6” / 8” Substrates。

●手動放片/手動供料

●主軸轉速：10~6,000 rpm (±1rpm)。

●驅動：AC Servo Motor

●控制系統：MITSUBISHI PLC。

●記憶模組：10組。

 詳細旋轉塗佈介紹與均勻性測試請參考型錄下載區檔案說明，可針對客戶需求安排塗佈測試。