100x100mm落地型四頭式轉塗佈機 (Floor-standing 4-bowls Spin Coater)

規格簡介：

●外觀尺寸：1500mm(W)x1000mm(D)x 1850mm(H)。

●基材：80mm×80mm or 100mm×100mm Al₂O₃ Substrate。

●手動放片/自動供料

●供料系統：自動供料手臂2組

●基板中心對位功能

●主軸轉速：10~6,000 rpm (±5rpm)。

●驅動：AC Servo Motor

●控制系統：MITSUBISHI PLC。

●記憶模組：10組。