200x200mm落地型顯影蝕刻機(Floor-standing Developer/Etcher)

規格簡介：

●外觀尺寸：1200mm(W)x1200mm(D)x2050mm(H)。

●基材：80mmx80mm, 100mmx100mm, 200mmx200mm Glass Substrate。

●手動上片/自動供料

●供料系統：自動噴灑手臂1組

●主軸轉速：10~3,000 rpm (±3rpm)。

●驅動：AC Servo Motor

●控制系統：MITSUBISHI PLC。

●記憶模組：10組。