200x200mm落地型顯影蝕刻機(Floor-standing Developer/Etcher)

規格簡介：

●外觀尺寸：1200mm(W)x1200mm(D)x1900mm(H)。

●基材：200mm×200mm Glass Substrate。

●手動放片/自動供藥

●供料系統：自動供液手臂1組

●主軸轉速：3,000 rpm Max.。

●旋轉機構：伺服馬達

●控制系統：MITSUBISHI PLC。

●記憶模組：10組。