200x200mm桌上型雙槽顯影/蝕刻/去光阻機 (Tabletop Double Bowls Developer/Etcher/Stripper)

規格簡介：

●外觀尺寸：800mm(W)x600mm(D)x450mm(H)。

●基材：200mm×200mm Glass Substrate。

●手動放片/自動供液。

●主軸轉速：10~2,000 rpm (±3rpm)。

●旋轉機構：AC Servo Motor。

●控制系統：MITSUBISHI PLC。

●記憶模組：10組。