200x200mm落地型旋轉塗佈機 (Floor-standing Spin Coater)

規格簡介：

●外觀尺寸：1140mm(W)x1310mm(D)x 2050mm(H)。

●基材：50mm×50mm or 200mm×200mm Glass Substrate。

●手動放片/自動供料

●機械及管路系統：自動供料手臂1組

●上蓋機構(Lid)具昇降與微調功能，調整範圍3~10cm

●主軸轉速：1~4,000 rpm Max. (±5rpm)。

●旋轉機構：AC Servo Motor

●控制系統：MITSUBISHI PLC。

●記憶模組：10組。