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國立台灣大學卓越研究大樓-酸/鹼/有機晶片清洗台
國立台灣大學卓越研究大樓新建無塵室-酸/鹼/有機晶片清洗台。 National Taiwan University Outstanding Reserach Building New Built Clean-room - Acid/Alkali/Organic Wet Benches.
產品詳細說明
酸/鹼/有機晶片清洗台 (Acid/Alkali/Organic Wet Benches)
規格簡介:
●外觀尺寸:1600mm(W)x9500mm(D)x 2050mm(H)。
●清洗台種類:酸性藥品自動供藥清洗台(2座)、鹼性藥品清洗台(3座)、有機藥品清洗台(3座)。
●酸槽:不鏽鋼鐵氟龍(Teflon Coating)槽體。
●鹼槽:PP槽體。
●有機槽:不鏽鋼槽體。
●自動供藥加熱槽:PLC程式控制、可控制供藥量方便使用者管理、槽體可加熱、可儲存10組供藥參數。
●控制系統:MITSUBISHI PLC 觸控人機介面與製程參數管理 。
濕式工作檯(Wet Bench)實績介紹請參考型錄下載區檔案說明。