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產品詳細說明
200x200mm桌上型雙槽顯影/蝕刻/去光阻機 (Tabletop Double Bowls Developer/Etcher/Stripper)
規格簡介:
●外觀尺寸:800mm(W)x600mm(D)x450mm(H)。
●基材:200mm×200mm Glass Substrate。
●手動放片/自動供液。
●主軸轉速:10~2,000 rpm (±3rpm)。
●旋轉機構:AC Servo Motor。
●控制系統:MITSUBISHI PLC。
●記憶模組:10組。